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苏州爱特维电子科技有限公司真空等离子清洗机密封件的作用

发布日期:2020-08-04 00:00 来源:http://www.dtechbiz.com 点击:

苏州爱特维电子科技有限公司真空等离子清洗机密封件的作用


布景技能

随着微电子技能的不断发展,相关出产企业的竞赛越来越剧烈,下降成本、进步出产效率则是进步企业竞赛力的常用手段。如LED光源出产企业为进步出产效率、下降出产成本,在刻蚀工艺过程中选用托盘搬运的方式完成同时搬运和刻蚀多个基片。


在实际运用过程中,由于方形结构的密封圈5不易变形,使得刻蚀加工设备存在问题:榜首,基座1与托盘2不能很好地接触,从巾影响基座1与托盘2之间的热传导,导致托盘2表面温度不均匀,从而影响刻蚀工艺的稳定性,如温度较高的区域或许呈现光刻胶溃散的问题。第二,密封圈5的顶部和内侧不易密封,使得背吹空间3不能很好地密封,从而导致氢气走漏,这不只影响丁艺腔室的真空度以及下降气冷的效果.并且还导致出产成木的增加.在实标应用中,尽管能够通过增加作用在托盘2上的机械力而增大密封网的变形量,但是,增大机械力又容易导致石英材料制成的机械压环4味碎,因此,增大作用在托盘上机械力的方式不能彻底处理上述问题。


为处理上述技能问题,作为本实用新型一个优选施行例,在密封圈本体内侧设置第二凸部,凭借第二凸部能够进步密封圈轴向的密封功能。类似地,本实用新型供给的等离子体加工设备,由于选用本实用新型供给的密封圈,凭借易于变形的榜首凸部和第二凸部不只能够分别进步密封圈径向和轴向的密封功能,使得背吹空间获得杰出的密封,从而能够削减因氦气走漏对工艺腔室真空度的影响,同时削减氦气的运用量,下降出产成本。并且,榜首凸部能够使基座和托盘保持杰出的接触,从而供给托盘表面温度的均匀性,这又使得置于托盘顶部不同方位的基片的刻蚀速度相同,进步刻蚀工艺的稳定性,进步产品的质量。


密封件的挑选是否适宜,是一台真空等离子清洗机密封性好坏的要害。其实,真空等离子清洗机如何挑选适宜的密封件也是有方法可循的。真空等离子清洗机上所运用的密封件从种类上分首要有3种,榜首种是O型密封圈、第二种是管路支架密封件、第三种是密封垫片。


苏州爱特维电子科技有限公司真空等离子清洗机密封件作用


分类


1.真空等离子清洗机上所运用的O型密封圈
O型密封圈(O-rings) 是一种截面为圆形的橡胶密封圈, 因其截面为O型, 故称其为O型橡胶密封圈。O型密封圈是机械设计中较常见的密封元件之一。首要运用在真空等离子清洗机的真空腔体与其他部件相衔接的部位,起到密封作用,比方真空腔体与真空门之间的密封、馈入电极与真空腔体之间的密封以及真空腔体与真空管路之间的密封。


2.真空等离子清洗机上所运用的管路支架密封件


管路支架密封件是一种运用于真空等离子清洗机外部管路与管路之间相衔接的密封件,管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合运用,运用时将管路支架密封件放置在管路与管路之间,然后用真空卡箍锁紧,通过真空卡箍的揉捏,使管路夹紧管路支架密封件,终究可完成密封效果。首要长处是装置起来非常便利,无需运用工具;密封功能好,首要运用在真空管路之间的衔接处上。


3.真空等离子清洗机上所运用的密封垫片


密封垫片是一种用于有流体的机械、设备所运用的密封件.密封垫片是金属或非金属的板状原料,经切开、冲压或裁剪等工艺制造而成的,首要用于机器设备的机件与机件之间的密封衔接,用于有流体的机械、设备所运用的密封件,密封垫片是金属或非金属的板状原料,经切开、冲压或裁剪等工艺制造而成的。

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