等离子活化
华东联系人 朱先生:13584967268
华南联系人 郭先生:13826959997

新闻中心News

联系我们Contact us

苏州爱特维电子科技有限公司
联系人:朱先生
手 机:13584967268
邮 箱:sam.zhu@atv-corp.com
网 址:www.dtechbiz.com
地 址:昆山市周市镇长兴东路268号

东莞爱特维等离子科技有限公司
联系人:郭文江
电话:13826959997
地址:东莞市长安镇乌沙路551号怡丰商业大厦606


新闻中心

您的当前位置: 首 页?>>?新闻资讯 >> 行业新闻

微波等离子体化学气相堆积试验-形核研讨

发布日期:2021-03-26 17:10 来源:http://www.dtechbiz.com 点击:



微波等离子体化学气相堆积试验-形核研讨


    等离子体化学气相堆积技能有影响的使用之一是利用该技能制备金刚石膜。因为膜状的金刚石能够在超硬维护涂层、光学窗口、热沉资料、微电子等多个范畴有重要意义,因而科学家以为当人类把握金刚石膜的制备技能,特别是单晶金刚石膜的制备技能后,依赖资料的前史将从硅资料年代很快进入金刚石年代。不过目前关于等离子体化学气相堆积金刚石膜的机理并没有清楚,特别是异质外延单晶金刚石膜还有很大困难,其主要原因是:低温等离子体处于热的非平衡状态,所用的反应气体也是多原子分子,反应系统复杂,基础数据缺乏??墒蔷?0多年大量的理论和试验研讨,人们不仅发展了多种等离子体化学气相堆积技能来制备金刚石膜,并且经过对试验数据的分析总结,对影响金刚石膜的成长的要素有了了解。对多晶金刚石膜的成长来说,形核是要害的,而影响形核的要素又是多方面的,包含等离子体条件,基体资料和温度等要素。

    在等离子体化学气相堆积金刚石膜时,首先要阅历金刚石的形核过程,而形核一般可分为两阶段:一阶段是含碳基团抵达基体外表,并向基体内部分散。二阶段是抵达基体外表的碳原子在在基体外表以缺点、金刚石籽晶等为中心的成核、成长。因而决定金刚石的形核要素包含:  1.基体资料:因为形核取决于基体外表碳的饱和程度以及抵达构成核心的临界浓度,[Joflreau,P.O.Haubner, R.and Lux, B., j.Ref.Had Metals 7(4)(198):186-194]因而基体资料的碳的分散系数对形核有重要影响。分散系数越大,就越不容易到达形核所需要的临界浓度,如铁、镍、钛等金属基体,直接在这些资料上形核就十分困难;关于碳分散系数较低的资料,如钨、硅等,金刚石能够快速形核。  2.基体外表研磨:一般金刚石的形核能够经过金刚石微粉对基体外表的研磨来推动。用SiC、 c-BN、Al2O3等资料的研磨对形核也有推动作用。研磨可推动形核的机制主要有两点:一是经过研磨,金刚石微粉的碎屑留在基体外表起晶种的作用;二是研磨能够在基体外表产生大量的微缺点,外表缺点是自发形核的有利方位。研讨标明研磨资料的晶格常数与金刚石的越挨近,增强形核的作用越好,因而一般的研磨资料是采用高温高压法制备的金刚石微粉。  3.等离子体参数:在金刚石形核初期,因为碳向基体内的分散会在基体的外表构成一个界面层,研讨标明等离子体参数对界面层也有重要影响,如硅基体上堆积金刚石膜时,甲烷浓度对SiC界面层的生成就有直接的影响。[Williams, B.E. and Glass, m J.T., J.Mater. Res. 4(2)(1989):373-384]  4.偏压增强形核:在微波等离子体化学气相堆积中,基体一般是加负偏压,即基体的电位相关于等离子体来说是低电位。负偏压的作用是增加了基体外表附近的离子浓度。过高的偏压会因为过多的离子对基体外表和前驱核的溅射而按捺形核,因而偏压增强形核时偏压的大小要适宜。
等离子处理

相关标签:等离子设备,等离子处理,等离子清洗

国模在线,国模中大尺度视频,国模自拍,国内a级一片免费av